Gorizontal naycha pechkasi
2.LB Box Free uskunasi: 1L -36 l l
3. Haroratning harorati 1200 daraja -1700 ilmiy darajasini tashkil qilishi mumkin
*** Yuqoridagi barcha uchun narxlar ro'yxati, bizdan olishni o'rganing
Ta'rif
Texnik parametrlar
KirishGorizontal naycha pechkasiBu materiallar fanlari, kimyo muhandisligi, yarimo'tkazgich ishlab chiqarish va boshqa sohada keng qo'llaniladigan isitish uskunalari. Uning tarkibiy xususiyati gorizontal naychalarning gorizontal tuzilishida joylashgan bo'lib, ular ichak naychalari ichidagi materiallarni davolashda isitish elementlarini isitish vositalarida isitiladi. U namunani gorizontal ravishda tashkil etilgan pechkalari orqali isitadi, bu aniq haroratni boshqarish, bir xil isitish va oson foydalanishning afzalliklariga ega.
Ayniqsa yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda keng doiralar va ahamiyatga ega. Uning noyob tuzilishi va funktsiyasi uni silkitonni yumshatish, issiqlikni davolash, metalllash jarayoni, etiking jarayoni va qadoqlash jarayoni kabi qo'llaniladi. Shu bilan birga, yuqori aniqlikdagi nazorat, yuqori samaradorlikni qayta ishlash, yaxshi moslashuvchanlik va uning ajoyib barqarorligi ham uni yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda juda ishonchli va barqaror qiladi.
Parametr
Ishlar printsipi
A ning ish printsipigorizontal naycha pechkasiissiqlik o'tkazuvchanlik va konvektsiya printsiplariga asoslanadi. Isitish elementi isitish uchun quvvatga ega bo'lganda, issiqlik konstruktiv vositasi orqali issiqlik konvektsiya orqali issiqlikni butunlay issiqlik bilan bir tekis ravishda tarqatadi.
Isitish jarayoni:
Isitish elementi yoqilgandan so'ng, u issiqlikni keltirib chiqaradi va uni pechka naychaga o'tkazadi. Ofnacha truba qizdirilgandan so'ng, ichidagi namunaga issiqlikni o'tkazadi. Mevali naychaning mukammal termal o'tkazuvchanligi tufayli, namuna doimiy haroratga tezroq etib borishi mumkin.
Haroratni boshqarish:
Haroratni boshqarish tizimi real vaqt rejimida o'choqning haroratini qondiradi va belgilangan harorat va o'lchanadigan harorat o'rtasidagi farqga asoslangan isitish elementining quvvatini o'zgartiradi. O'lchovning harorati belgilangan haroratdan yuqori bo'lganda, boshqaruvchi isitish elementining quvvatini kamaytiradi; O'lchovning harorati belgilangan haroratdan past bo'lganda, boshqaruvchi isitish elementining quvvatini oshiradi. Isitish elementining quvvatini doimiy ravishda sozlash orqali o'choq ichidagi harorat doimiy ravishda saqlanishi mumkin.
Atmosfera nazorati:
Atmosfera boshqaruv tizimi Gaz oqimi va turini sozlash orqali o'choqdagi atmosfera muhitini boshqaradi. Masalan, yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonida oksidlanish va ifloslanishning oldini olish uchun pechning ichidagi kislorod va suv bug'ini boshqarish kerak. Atmosfera boshqaruv tizimi jarayon talablarini qondirish uchun o'choq ichidagi atmosfera muhitini aniq boshqarishi mumkin.
Gorizontal naychaning maxsus qo'llanilishi yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda
Horizntal naychasi yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda keng qamrovli dasturlarga ega va uning noyob tuzilmasi va funktsiyasi yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash jarayonida ajralmas uskunalardan biri hisoblanadi.
Asosiy tuzilma va ish printsipi
Horizntal truble - bu uzunroq naychaga o'xshaydi, bu uzun naychaga o'xshaydi va haroratli reaktsiya kamerasi ichkarisida. Qurilma atmosfera nazorati usulini qabul qiladi va turli xil atmosfera muhitini turli xil ishlov berish ta'siriga erishish uchun turli xil ishlov berish talablariga muvofiq tanlanishi mumkin.
Horiontal naychaning ishlash printsipi - bu pechning bo'shlig'ining reaktsiyalari yoki yuqori haroratlarda bo'lgan jismoniy o'zgarishlar yoki jismoniy haroratda jismoniy o'zgarishlarga olib keladigan reaktivlarni isitish uchun. Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda gorizontal naychalar perpasi asosan kremniy gofretlarini yumshatish va davolash uchun ishlatiladi.
Silikon valoka yuling
Silikon voizning yaxlitligini yaxshilash
Silikon Weffer - yarimo'tkazgichlar sanoatida muhim materiallardan biri bo'lib, uning sifati va ishi yarimo'tkazgich qurilmalarining ishonchliligi va bajarilishiga bevosita ta'sir qiladi. Qayta ishlash jarayonida kremniy pichoqlari stress tufayli cho'zilib ketadi, bu esa kremniy kristallarining sinishi va shikastlanishiga olib kelishi mumkin. Horiontal truba pechida yuqori haroratli pechda, silikon gofrosida stressni olib tashlash va kremniy vojikqa shikastlanishdan qochish mumkin.
Yuborish jarayonida kremniy gofret Horiontal pechga joylashtirilgan va asta-sekin kremniyning ichki stressini asta-sekin chiqarib yuboradi va panjarani qayta tiklab, kremniy valofining dossiyasini yaxshilaydi.
Silikon waferlarning elektr xususiyatlarini takomillashtirish
Silikon waferlarning elektr xususiyatlari yarimo'tkazgich qurilmalarining ishlashiga ta'sir qiluvchi asosiy omillardan biridir. Horiontal naychada yutib, silikon graferlarining elektr xususiyatlari yaxshilanishi va ularning o'tkazuvchanligi va barqarorligini oshirish mumkin.
Yuborish jarayonida kremniy yuqori haroratda o'choqning atmosferasi bilan reaktiv ta'sir qiladi va elektr xususiyatlarini yaxshilab, ichak atomini olib tashlaydi va shu bilan elektr xususiyatlarini yaxshilaydi.
Silikon Wafers yuzasidan oksidlarni olib tashlash
Silikon Wafers yuzasi ko'pincha ularning o'tkazuvchanligi va barqarorligiga ta'sir qilishi mumkin bo'lgan oksidlarni o'z ichiga oladi. Ishlab chiqarish jarayonida silika gofresining tekisligi va ravonligini ta'minlash uchun oksidlarni olib tashlash kerak, shu bilan yarimo'tkazgich qurilmalarining ishlashini yaxshilash.
Horiontal truba pechlari Silikon Wafers yuzasida atmosfera boshqaruvi orqali oksidlarni olib tashlashi mumkin. Yuborish jarayonida o'choq ichidagi atmosfera uchuvchan moddalarni hosil qilish uchun oksidi bilan reaksiyaga olib keladi, ular oksidni olib tashlash maqsadga erishish uchun gol urish uchun.
Silikonda issiqlik bilan davolash
Doplangan kremniy wafersni boshqarish
Yarimo'tkazgich qurilmalarida turli xil elektrotexnika talablari tufayli turli xil materiallar bilan doplangan silikon voforlari talab qilinadi. Horiontal truba pechida turli xil atmosfera boshqaruvi parametrlaridan, kremniy gofretlari uchun turli xil qurilmalarning talablarini qondirish uchun turli xil qurilmalarning talablariga javob berish uchun turli xil qurilmalarning talablarini qondirish uchun foydalanishi mumkin.
Doping jarayonida gofret gofret Horiontal truba idishga joylashtiriladi va o'choq ichida atmosfera kremniy vojesi ichki qismiga kirishga imkon beradi. Pechning ichidagi muhit va harorat kabi parametrlarni sozlash, doping atomlarining soni va taqsimlanishi kerakli doping effektiga erishish uchun boshqarish mumkin.
Silikon vojeali sirtida ingichka filmlarni tayyorlash
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda ba'zan kremniy yuzasida ingichka plyonka tayyorlash yoki o'ziga xos funktsiyalarga erishish uchun ingichka plyonka tayyorlash kerak. Horizntalt pechida kremniy gofretlari yuzasida ingichka plyonka tayyorlash uchun ishlatilishi mumkin.
Yupqa plyonkalarni tayyorlash jarayonida gofton gofret gorizontal naychaga joylashtirilgan va o'choq ichida atmosfera kerakli ingichka yog'ochni yaratish uchun yuqori haroratda bo'lgani uchun ta'sir qiladi. Filmning ichidagi muhit, harorat va reaktsiya vaqti kabi parametrlarni sozlash orqali filmni, qalinligi, tarkibi va xususiyatlari boshqarilishi mumkin.
Silikon voforlarining oksidlanish va nitradi
Silikon wafersning oksidlanish va nitridlash, yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda muhim jarayon. Horizntalt pechini kremni namoyon etish va nitridikli davolash uchun ishlatilishi mumkin.
Oksiden jarayoni davomida grikon gofroser gofarshi gofrose pechida pechning pechiga joylashtirilgan va pech kamerasida kislorod, kremniyning yuzasiga kremniyning yuzasi, silikon dioksid filmi hosil qiladi. Oshxona ichidagi kislorod kontsentratsiyasi, harorat va reaktsiya vaqti kabi parametrlarni sozlash orqali kremniy dioksid plyonkasining qalinligi va xususiyatlari boshqarilishi mumkin.
Nitridlik jarayonida gofroton gofret gofrotal truba idishga joylashtirilib, o'choqlar ichidagi azot gazi kremniy yuzasi bilan kremniy terisi hosil qilish uchun yuqori haroratga ega. Silikon nitrid yupqa filmlari silikon gofruzalari sirtini himoya qilish yoki aniq funktsiyalarga erishish uchun ishlatiladigan yuqori haroratli va yuqori haroratli barqarorlikka ega.
Horizontal naychadagi boshqa qo'llanmalar yarimo'tkazgichli ishlab chiqarishda
Metallizatsiya jarayoni
Metallizatsiya jarayoni yarimo'tkazgich ishlab chiqarishning muhim bosqichlaridan biridir, metall elektrodlar yoki kremniy gofretlarida simlarni hosil qilish uchun ishlatiladi. Horizntalton pechlari metall elektrodlar yoki simlarning yopishishi va barqarorligini yaxshilash uchun metalllashtirish jarayonlarida davolanishni yumshatish uchun ishlatilishi mumkin.
Metalllashtirilgan kremniy terisi gofretal pechkaning pechkasiga joylashtirilgan va metall elektrod yoki sim va simlar o'rtasidagi bog'lanishni amalga oshirish uchun, shu bilan uning yopishishi va barqarorligini yaxshilash.
Etching jarayoni
Etching jarayoni - bu yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda kremniy gofretlari yuzasidan ortiqcha materialni olib tashlash uchun ishlatiladigan qadam. Horizntalt pechida davolash jarayonidan keyin davolash jarayoni paytida hosil bo'lgan zarar va stressni olib tashlash uchun davolash jarayoni va stressni olib tashlash uchun ishlatilishi mumkin.
Ertading jarayonida u gofaron gofrose gofrosida yuqori haroratda joylashtirilgan va asta-sekin kremniyning ichki stressini asta-sekin chiqaradi va panjarani qayta ishlab chiqaradi va etik jarayonida hosilni olib tashlaydi.
Qadoqlash jarayoni
Qadoqlash jarayoni - yarimo'tkazgich ishlab chiqarishning yakuniy bosqichidir, ular ishonchliligi va barqarorlikni yaxshilash uchun himoya qobig'i bilan yarimo'tkazgichlar ichidagi yarimo'tkazgichlarni qoplash uchun ishlatiladi. Horizntal naychani qadoqlash jarayoni davomida hosil bo'lgan stress va zararni olib tashlash uchun qadoqlash jarayonlarida davolanishni yumshatish uchun ishlatilishi mumkin.
Yuborish jarayoni davomida qadoqlangan yarimo'tkazgich qurilmasi gorizntalt idishga joylashtiriladi va qadoqlash jarayonida boshlanadigan stressni olib tashlaydi va qadoqlash jarayonida hosil bo'lgan stress va zararni olib tashlaydi.
Egzoz haroratini oshiring - issiqlik samaradorligini oshiring
Optimallashtirilgan konvektsiya bo'limi dizayni
Konvektsiya naychalari sonini ko'paytiring
Issiqlik almashinuvining samaradorligini oshirish va chiqindi haroratini yaxshilash va chiqindi haroratini pasaytirish uchun konvektsiya naychalari sonini ko'paytirish orqali kengaytirilishi mumkin.
Optimallashtirilgan konvektsiya naychasini tashkil qilish
Konvektsiya naychasining oqilona tashkil etilishi, qizarish uchun issiqlik issiqligini olish va o'tkazish uchun yanada samarali qiladi. Masalan, qoqilib ketgan tartib yoki spiral tartib, oqim yo'lini va quvurda tutun vaqti ko'tarish uchun ishlatilishi mumkin.
Isitish yuzasini tejashni yaxshilash
Issiqlikni samarali uzatish materiallaridan foydalaning
Issiqlik yuzasidan isitish yuzasini, masalan, zanglamaydigan po'latdan yasalgan, mis qotishmasini yaxshilash uchun issiqlik yuzasidan yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi bilan materiallar tanlang.
Isitish yuzasini toza tuting
Issiqlik uzatish samaradorligini oshirish uchun doimiy ravishda chang va axloqsizlikni muntazam tozalang va issiqlik uzatish samaradorligini oshirish uchun sirtini tozalang. Chang to'planishi va axloqsizlik isitish sirtining issiqlik uzatilishini kamaytiradi, natijada egilgan haroratning oshishi.
Yonish jarayonini sozlang
Ortiqcha havo koeffitsientining oqilona nazorati
Havoning ortiqcha koeffitsienti bu nazariy havo ta'minotiga haqiqiy havo ta'minotining nisbati hisoblanadi. Ortiqcha havo koeffitsientining oqilona nazorati, o'choqqa juda ko'p havodan saqlaning, tutun hajmini kamaytirishi mumkin, shu bilan egoz haroratini kamaytiradi.
Yoqilg'i yonish samaradorligini oshirish
Yoqilg'i in'ektsiyasining tezligi va yonish kamerasining yonishi va yonilg'i yoqilg'isi kabi yonilg'i quyish parametrlarini optimallashtirish va tugallanmagan yoqilg'ining miqdori kamayishi mumkin.
Issiqlikni tiklash uskunalari
Aviakompaniyani o'rnating
Havo prehewer pechga kiradigan havoga oqib chiqadigan gazning chiqindilarini ishlatishi mumkin va shu bilan yonish samaradorligini oshiradi va egilish haroratini pasaytiradi.
Chiqindilarni issiqlik qozonini sozlang
Chiqindilarni issiqlik qozonini qizdirish issiqligini tiklab, bug 'yoki issiq suv, bug' yoki issiq suv kabi foydali energiyaga aylanishi va energiyadan foydalanish samaradorligini oshirish.
Boshqa choralar
Izolyatsiya choralarini kuchaytirish
Horizontal naychaning o'choqi uchun oziq-ovqat mahsulotlarini saqlash yaxshi davolash issiqlik yo'qotilishini kamaytirishi va chiqindi haroratini kamaytiradi.
Doimiy parvarish va texnik xizmat ko'rsatish
Doimiy texnik xizmat ko'rsatish va pechning pechiga texnik xizmat ko'rsatish, masalan, kulni tozalash, yonish parametrlarini sozlash, yonish parametrlarini sozlash, uning normal ishlashini va tutun chiqishi haroratini kamaytirishi mumkin.
Shuni ta'kidlash kerakki, tutun chiqishi haroratini kamaytirish jarayonida har tomonlama iqtisodiyot, iqtisodiyot, xavfsizlik va ishonchlilik kabi omillar har tomonlama ko'rib chiqilishi kerak. Shu bilan birga, tegishli jarayon talablari va foydalanish sharoitlariga muvofiq tegishli choralar va usullarni tanlash zarur.
Bundan tashqari, chiqindi harorat juda past bo'lganida, u issiqlik almashinuv yuzasida past haroratli shudring punkti korroziyasini keltirib chiqarishi mumkin. Shuning uchun, egilgan haroratni tanlaganda, issiqlik samaradorligi va jihozlar hayoti kabi omillar, agar uskuna shikastlanishiga olib kelmasdan, chiqindi harorati issiqlik yo'qotilishini kamaytirishi mumkinligini ta'minlash uchun tortish kerak.
Issiq teglar: gorizontal naycha pechi, Xitoy gorizontal naycha ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilar, fabrikalar
Oldingi
Yuqori haroratli naycha pechkasiKeyingi2
Split Tube pechlariSo'rov yuborish
